Wafer Tool軟體需搭配正確的RCU8韌體版本,下載前請確認HRC-W/RC8控制器規格與軟體版本,如遇問題請聯繫上銀售服團隊。
晶圓機器人 Wafer Tool 軟體
WaferTool_v1.11.11
Wafer Tool Software Installation Attachments
EtherCat & Serial 通訊驅動程式
Wafer Tool 軟體 RCU8 附件 For HRC-W 控制器
RCU8-0.085
若需要其他韌體版本,請參考此連結 非最新版本下載專區。